北廣科技承擔(dān)的“射頻發(fā)生器研發(fā)與產(chǎn)業(yè)化”國家科技重大專項02專項課題，已于2019年1月26日完成了綜合績效評價，順利通過國家正式驗收。這標志著北廣科技首次承擔(dān)的國家科技重大專項任務(wù)圓滿完成。

“02專項”是《國家中長期科學(xué)和技術(shù)發(fā)展規(guī)劃綱要（2006-2020年）》確定的十六個重大專項之一，旨在開發(fā)集成電路關(guān)鍵制造裝備，掌握具有自主知識產(chǎn)權(quán)的成套先進工藝及相關(guān)新材料技術(shù)，打破我國高端集成電路制造裝備與工藝完全依賴進口的狀況。公司研發(fā)的射頻發(fā)生器產(chǎn)品達到了研制任務(wù)合同書的各項要求，具備了進入集成電路行業(yè)的技術(shù)條件。課題促進了國內(nèi)射頻發(fā)生器零部件行業(yè)的技術(shù)水平和產(chǎn)業(yè)發(fā)展，提升了產(chǎn)業(yè)競爭力，推動了我國集成電路等行業(yè)關(guān)鍵制造設(shè)備的國產(chǎn)化進程。

“射頻發(fā)生器研發(fā)與產(chǎn)業(yè)化”課題，面向極大規(guī)模集成電路制造裝備及成套工藝對射頻發(fā)生器的功率穩(wěn)定度、精度和線性度等技術(shù)要求，突破了一系列關(guān)鍵技術(shù)瓶頸，研發(fā)了三款射頻發(fā)生器產(chǎn)品。新產(chǎn)品通過了北京北方華創(chuàng)微電子裝備有限公司的工藝測試驗證考核，并且通過了第三方科學(xué)技術(shù)成果評價。此前，本課題已通過了組織嚴格的現(xiàn)場測試、檔案正式驗收和內(nèi)部驗收。本輪正式驗收，評審專家組聽取了課題完成情況報告和現(xiàn)場測試組的驗收測試報告，審閱了驗收資料，經(jīng)過專家組問詢、討論和逐項打分，認定課題已經(jīng)完成合同書中約定的各項考核指標，一致同意課題通過驗收！

“射頻發(fā)生器研發(fā)與產(chǎn)業(yè)化”課題，共獲得了4000多萬元的國家政府資金資助，申請了42項專利（其中國內(nèi)發(fā)明專利34項，國際發(fā)明專利3項），備案發(fā)布了3項產(chǎn)品的企業(yè)標準，建設(shè)了小批量生產(chǎn)線，培養(yǎng)打造了一支專業(yè)化的產(chǎn)業(yè)團隊。射頻發(fā)生器的研發(fā)成功和產(chǎn)業(yè)化實施，為公司打造高端產(chǎn)品，向?qū)I(yè)化、產(chǎn)業(yè)化和國際化戰(zhàn)略發(fā)展，實現(xiàn)北廣科技“做強國內(nèi)行業(yè)之首、創(chuàng)建國際知名企業(yè)”做出了貢獻！